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名稱：脈沖電子束沉積系統(tǒng)
品牌：Neocera
產地：美國
型號：Pioneer 180 PED System
真空腔 18" 直徑的球形腔體
8"CF 窗口
6.75"CF PED 源窗口
3 個6"CF 窗
額外的2.75" 與1.33"CF 窗口 PED源 電子槍能量：8-20 keV
脈沖能量：最大能量800 mJ
最小能量100 mJ
工藝氣體壓強: 3-20 mTorr
工藝氣體: 氧氣，氮氣，氬氣
脈沖能量變化: ±10%
脈沖寬度: 100 ns
最大重復率: 10Hz at 15kV,5Hz at 20kV
最小束截面: 8 x10-2 cm2
最大能量密度 :1.3 x 108 W/cm2
Z 向對準范圍: 50 mm
XY 向對準范偉: +/- 20 mm
火花塞壽命 ~3x107 脈沖 基片加熱器 最大直徑2"，最小10x10mm2
最高溫度：850 ℃
基片旋轉：1-30 RPM（360° 旋轉）
基片加熱器：兼容1 個大氣壓的氧壓
加熱器溫度通過可編程的PID 控制 多靶材旋轉臺 6 個1" 的靶材或3 個2" 的靶材
靶材旋轉：360° 連續(xù)旋轉(1-20 RPM)
靶材柵格式掃描
獨特的靶材柵格化燒蝕方案
靶材索引，鍍多層薄膜
靶材高度可調
靶材擋板避免靶材間的交叉污染
提供連續(xù)組成擴展/ 組合PED 的能力
PED系統(tǒng)軟件 Windows 7, LabVIEW 2013控制基片加熱臺
控制靶材公轉臺
控制真空泵
控制質量流量計?
外部的PED 源觸發(fā)器
可選的工藝自動化選項 真空泵 干泵，渦輪分子泵
本底真空壓強：標準配置8 x 10-8 Torr
渦輪分子泵轉速由軟件控制
* 高溫超導(HTS) YBCO( 和GdBCO) 薄膜
* 順電(Ba-SrTiO3) 薄膜
* 金屬氧化物(SrRuO3) 薄膜
* 隔熱/ 音玻璃(SiO2) 膜和Al2O3 膜
* 聚四氟乙烯(PTFE) 薄膜