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陰極熒光SEM-CL在半導(dǎo)體金剛石方面的應(yīng)用

作者:北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司閱讀量: 分享到:
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       由于金剛石的非凡性能,如極高的硬度,化學(xué)惰性,光學(xué)透明度,高導(dǎo)熱性以及電絕緣,越來越多的應(yīng)用領(lǐng)域認(rèn)識到這種材料提供的好處。特別是在涉及極高功率密度、高機(jī)械負(fù)荷或惡劣磨料條件的應(yīng)用中,金剛石通常是滿足這種苛刻要求的唯一材料。金剛石在許多領(lǐng)域都有應(yīng)用,包括:

1、高功率電子器件:金剛石的特殊電子特性使其成為二極管和hemt等高功率器件最可靠的候選者。

2、量子信息:氮基空位中心可用作單光子源。

3、MEMS和生物MEMS:金剛石是一種很有前途的單獨(dú)尋址電極陣列材料。

4、光學(xué),熱和機(jī)械應(yīng)用:紅外窗口和透鏡。

5、電化學(xué)應(yīng)用:電極和生化傳感器。

6、輻射傳感器:電離輻射探測器/劑量計(jì)和熒光束監(jiān)測儀。

      陰極發(fā)光是半導(dǎo)體物理研究中的關(guān)鍵技術(shù)之一。它的應(yīng)用領(lǐng)域從分析半導(dǎo)體中的缺陷分布到表征這類材料的電性能。這些研究對提高生長參數(shù)和設(shè)計(jì)大功率電子器件具有重要的意義。Attolight CL系統(tǒng)的特點(diǎn)開辟了一個新的研究領(lǐng)域:

a、delta結(jié)構(gòu)的完整表征:具有高達(dá)10納米的空間分辨率,這是研究半導(dǎo)體量子阱的最強(qiáng)大工具之一。

b、載流子動力學(xué)的完整研究:電荷載流子壽命在時間分辨模式下測量。

c、加入摻雜劑:Attolight CL系統(tǒng)可以在深紫外和高達(dá)20 K下工作,這意味著滿足了觀察金剛石中激子光譜的最佳條件。

d、界面分析:由于高空間分辨率和納米定位階段,可以獲得界面的線形和映射。

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